濺射薄膜壓力敏感元件
濺射薄膜壓力敏感元件：壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質(zhì)直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出“微米”級(jí)的電阻膜。濺射薄膜壓力敏感元件再經(jīng)過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動(dòng)件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環(huán)境和長期穩(wěn)定性工作的特點(diǎn)，
特點(diǎn)
*長期穩(wěn)定 *信號(hào)線性化
*具有溫度內(nèi)補(bǔ)償 *小型化(芯片直徑7mm)
*具有壓力和溫度一體化雙輸出
濺射薄膜壓力敏感元件焊接型：通過焊接（激光，電子束，微束等離子，微束亞弧焊）方式實(shí)現(xiàn)壓力敏感元件與引壓接頭的連接。
結(jié)構(gòu)圖：
焊接型（W）
內(nèi)孔尺寸：5~20bar 4.5mm 35~2200bar 3.5mm
敏感元件：
引線示意圖
惠斯登電橋示意圖：
引線方式：1、3為供電激勵(lì)源（1：地，3：電源+）
2、4為信號(hào)輸出端
（1、5之間為測(cè)溫電阻，作為內(nèi)補(bǔ)償電阻）
焊點(diǎn)材料：錫/鉛?？芍苯佑美予F錫焊（建議使用高溫焊錫）
鎳。使用超聲壓焊
濺射薄膜壓力敏感元件技術(shù)參數(shù)：
壓力量程（bar）：5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200
允許過負(fù)載（% FS）：200%（破壞壓力：10倍滿量程壓力）
熱零點(diǎn)漂移（%FS℃）：小于0.005
熱靈敏度漂移（%FS℃）：小于0.005
長期穩(wěn)定性 （%FS/年）：小于±0.1
工作溫度范圍（℃）：-70℃~200℃（特殊要求從-100℃~300℃）
橋臂電阻（KΩ）：3 KΩ~4 KΩ
絕緣電阻（MΩ）：大于500
頻率響應(yīng)：大于10KHZ
靈敏度（mV/V）及非線性：
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量程（bar）
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5
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7
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10
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16
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20
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35
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靈敏度（mV/V）
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0.99±0.25
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1.27±0.25
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1.21±0.2
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1.24±0.2
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1.30±0.2
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1.67±0.2
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*大非線性（% FS）
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0.4
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0.35
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0.20
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0.15
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0.15
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0.15
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量程（bar）
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70
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100
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160
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250
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400
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700
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靈敏度（mV/V）
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1.81±0.2
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2.26±0.3
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1.98±0.3
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2.19±0.3
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2.13±0.2
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2.26±0.2
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*大非線性（% FS）
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0.15
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0.15
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0.15
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0.15
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0.10
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0.10
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量程（bar）
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1000
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1600
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1800
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2200
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靈敏度（mV/V）
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1.33±0.25
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1.40±0.25
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1.08±0.2
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1.32±0.15
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*大非線性（% FS）
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0.05
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0.05
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0.05
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0.05
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